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    2020-11-26

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工业气体在电子行业的应用

亚太区是半导体行业主要的增长来源,而又是亚太区大的单一市场。2015年,全球半导体69%的市场来自于亚太区,而市场占了亚太区市场的41%,而这一数字未来还会更高。对于工业气体在电子行业的应用来说,不仅受益于电子行业的增长,更受益于越来越多的---电子行业厂商在国内投资建厂。这使得工业气体在电子行业将会有更快的增速。同时,也积极推动工业气体在电子行业的应用。目前高纯特种电子气体的研发与产业化已作为我国---规模集成电路制造装备及成套工艺的---部分被列入我国科技重大专项,与大型飞机、载人航天与探月工程等16个重大专项一起被列入<中长期科学和技术发展规划纲要(2006-2020)>。尽管电子工业气体市场较整体工业气体市场较小,但增速很快。我们预计工业气体未来在电子行业的市场规模将会有近15%的增速,氧气多少钱,在2018年达到近130亿。


气相沉积气体:含卤化物及卤碳化合物为主,如、三---氮(nf3

(3)蚀刻清洗气体:以含卤素的卤化物及卤碳化合物为主,如、三---氮(nf3)、(hbr)、四---碳(cf4)、---(c2f6)等。(4)反应气体:以碳系及氮系氧化物为主,老河口氧气,如---(co2)、氨(nh3)、氧化亚氮(n2o)等。(5)金属气相沉积气体:含卤化金属及有机烷类金属,如六---钨(wf6)、(ga(ch3)3)等。


---气和其它气体不一样,---气化学性质稳定,氧气瓶规格,和其它有各种化合物的气体不一样。氢气、氮气等气体可以在实验室中通过化合物之间的反应来获取纯气,但是---气没有化合物也就无法有所谓的实验室制---气的方法。那么工业制---气可行么?其实严格说来工业制---气也是不行的,乙炔氧气,通常所说的工业制---气指的是粗---的提纯而不是制造。

现有的---气都是混杂在中,工业制---气也只是利用各种方法手段将---气从其中提取出来,再通过液化分馏等手段进一步提纯获得高纯度的---气,例如超纯---气、5n---气等。理论上只要中---气的含量超过0.5%就可以进行分离,实现---的商业开发。





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