---气紧张状况，特种气体是光电子、微电子等领域，---是---规模集成电路、液晶显示器件、非晶硅薄膜太阳能电池、半导体发光器件和半导体材料制造过程不可缺少的基础性支撑源材料。它的纯度和洁净度直接影响到光电子、微电子元器件的、集成度、特定技术指标和成品率，并从---上制约着电路和器件的性和准确性。半导体照明是正处于方兴未艾的产业，---气瓶，随着化合物半导体市场的扩展，特种气体的需求呈现的增长，外延生长需要大量的超纯源和过程气体。
在集成电路、半导体和电真空器件制造中用作保护气和运载气，化学气相淀积时的载气，液体扩散源的携带气，---浓度，在高温扩散炉中用作器件的保护气。高纯氮在外延、光刻、清洗和蒸发等工序中，---密度，作为置换、干燥、贮存和输送用气体。显像管制造中要求氮气纯度为99.99%以上。在航天技术中，液氢加注系统需要先用高纯氮置换，再用高纯---置换。
（3）依据燃气设备的散布情况，高纯燃气管网不宜过大或过长，宜选用不封闭的环状管道，在系统结束接连排放少量燃气，使管网中一直有高纯度气体循环，襄阳东津---，不会因“死区”而构成高纯度气体污染。（4）应减少不流动气体在管道中的“死区”，且不应是盲管，在储气罐和气体设备之间应设置吹扫阀控制设备和控制设备，用于控制吹扫阀的开关次序和系统，以---供气系统的安全，---运转，防止“死区”停留污染物构成，降低气体纯度。
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